Tibco News, 30 июня, правительство Нидерландов издало последние правила по экспортному контролю полупроводникового оборудования, некоторые СМИ интерпретировали это как контроль над фотолитографией против Китая, который снова распространился на все DUV.Фактически, эти новые правила экспортного контроля нацелены на передовые технологии производства чипов по нормам 45 нм и ниже, включая современное оборудование для атомного осаждения ALD, оборудование для эпитаксиального выращивания, оборудование для плазменного осаждения и системы иммерсионной литографии, а также используемые технологии и программное обеспечение. использовать и разрабатывать такое современное оборудование.
В заявлении для Tibco ASML подчеркнула, что новые правила экспортного контроля правительства Нидерландов распространяются только на некоторые из последних моделей DUV, включая TWINSCAN NXT:2000i и последующие системы иммерсионной литографии.Ранее EUV-литография была ограничена, а поставки других систем не контролируются правительством Нидерландов.Согласно информации на официальном веб-сайте ASML, система иммерсионной литографии DUV, в том числе: TWINSCAN NXT: 2050i, NXT: 2050i, NXT: 1980Di, три литографических машины, могут выполнять обработку пластин по технологическому процессу 38–45 нм.
Кроме того, в санкционный список Нидерландов не включены машины для сухой литографии DUV, способные обрабатывать пластины с толщиной более 45 нм, например, 65–220 нм, такие как TWINSCAN XT:400L, XT:1460K, NXT:870 и т. д.
Голландский контрольный список в переводе Tibco выглядит следующим образом:
Постановление МинБуза.2023.15246-27, изданное Министром внешней торговли и развития сотрудничества Нидерландов, предусматривает лицензионные требования для экспорта современного оборудования для производства полупроводников, ранее не упомянутого в Приложении I Постановления № 2021/821 (относительно современных полупроводниковых приборов). производственное оборудование)
Статья 2: Этот регламент запрещает экспорт современного оборудования для производства полупроводников из Нидерландов без разрешения министра.
Статья 3:
1. Заявление о выдаче разрешения, упомянутого в статье 2, подается экспортером и передается прокурору.
2. В любом случае заявление должно содержать:
а) наименование и адрес экспортера;
б) Имя и адрес получателя и конечного пользователя современного оборудования для производства полупроводников;
c) Имя и адрес получателя и конечного пользователя современного оборудования для производства полупроводников.
3, в любом случае прокурор имеет право потребовать от экспортера предоставить контракт на экспорт и заключение о конечном использовании.
Статья 4:
Лицензия, описанная в статье 2, может регулироваться условиями и положениями.
Выдача лицензии, описанной в статье 2, может осуществляться с оговорками.
Статья V:
Лицензии, упомянутые в статье II, могут быть отозваны в следующих случаях:
а) лицензия выдана на основании неверной или неполной информации;
б) не были соблюдены условия и ограничения лицензии;
в) По соображениям национальной внешней политики и политики безопасности.
Время публикации: 02 июля 2023 г.